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硅片清洗机 申请代理
北京南轩兴达电子科技有限公司
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马胜男 (先生)
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北京市通州区宋庄?辛工业园
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产品分类
产品详情
品牌:《南轩电子》分为电器部分、箱体部分、隔离门部分、在线加热部分、喷淋部分、喷淋装置的上下移动部分、管路部分、抽风部分。 1.本设备为柜体式,外箱体为德国磁白PP,内箱体为德国PVDF,操作面带有德国透明PVC门窗。 2.清洗满足工艺:上料→热冷DI水冲洗→下料DI水压力:3kg/cm2DI水加热温度:75°~85° 3.冷热水喷淋方式:自动控制 4.管路部分: ⑴气动阀采用德国产,执行机构与流体隔离,流体接触材质为PVDF,用于DI水的气动阀。 ⑵美国进口在线加热器与DI水接触处采用PVDF材料,防止DI水的污染。有过热保护装置。 5.电控部分:置于机台的右上方,配有紧急停机及报警装置,电控部分采用密封保护方式。 6.排风装置:排风为后排和上排的双重形式。