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产品详情
产品名称：微位移测量激光干涉仪 角度摆动检测干涉仪
产品型号：ZLM800
产品产地：德国
制 造 商：德国耶拿尔测量技术有限公司
详细介绍:
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪，主要用于微位移部件的测量，角度变化量的监测，移动平台运动情况的检测，及光刻机几何量的测量，数控机床几何量的测量，*多可实现六轴联动。具有以下性能优势：
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